SJ/T 11637-2016 电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则

SJ/T 11637-2016标准基本信息

标准名称：电子化学品 电感耦合等离子体质谱法通则

标准号：SJ/T 11637-2016

发布日期：2016-10-22

实施日期：2017-01-01

制修订：制定

中国标准分类：L90

国际标准分类：31.030

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：无

标准类别：方法标准

起草单位：杭州格林达化学份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院

起草人：尹云航、陈玉英、周利超 等