SJ 21120-2016 高电子迁移率晶体管用半绝缘砷化稼 抛光片规范

SJ 21120-2016标准基本信息

标准名称：高电子迁移率晶体管用半绝缘砷化稼 抛光片规范

标准号：SJ 21120-2016

英文名称：Specification for semi-insulating gallium arsenide polished wafers for high electron mobility transistor

发布部门：科技工业局

发布日期：2016-01-19

实施日期：2016-03-01