SJ 21122-2016 PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片规范

SJ 21122-2016标准基本信息

标准名称：PVTSiC76SI1-BP01型碳化硅单晶抛光片规范

标准号：SJ 21122-2016

英文名称：Specification for pllished mono-crystallinesilicon carbide wafers of PVTSiC76SI1-BP01

发布部门：科技工业局

发布日期：2016-01-19

实施日期：2016-03-01