SJ 21200-2016 平板式等离子体增强化学气相淀积设备通用规范

SJ 21200-2016标准基本信息

标准名称：平板式等离子体增强化学气相淀积设备通用规范

标准号：SJ 21200-2016

英文名称：General specification for flat plasma enhanced chemical vapor deposition equipment

发布部门：科技工业局

发布日期：2016-12-14

实施日期：2017-03-01