SJ 21260-2018 金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备工艺验证方法

SJ 21260-2018标准基本信息

标准名称：金属有机物化学气相淀积(MOCVD)设备工艺验证方法

标准号：SJ 21260-2018

英文名称：Technological verification procedures for metal-organic chemical vapor deposition(MOCVD)equipment

发布部门：科技工业局

发布日期：2018-01-18

实施日期：2018-05-01