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SJ 21261-2018 MEMS 惯性器件结构设计要求

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SJ 21261-2018标准基本信息

标准名称：MEMS 惯性器件结构设计要求

标准号：SJ 21261-2018

英文名称：Structural design requirements for MEMS inertial device

发布部门：科技工业局

发布日期：2018-01-18

实施日期：2018-05-01

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