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SJ 21262-2018 MEMS 惯性器件芯片在片测试技术要求

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SJ 21262-2018标准基本信息

标准名称：MEMS 惯性器件芯片在片测试技术要求

标准号：SJ 21262-2018

英文名称：Technical requirements for MEMS inertial device chip measurement on wafer

发布部门：科技工业局

发布日期：2018-01-18

实施日期：2018-05-01

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