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SJ 21493-2018 碳化硅外延片表面缺陷测试方法

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SJ 21493-2018标准基本信息

标准名称：碳化硅外延片表面缺陷测试方法

标准号：SJ 21493-2018

英文名称：Test method of surface defects for silicon carbide epitaxial wafers

发布部门：科技工业局

发布日期：2018-12-29

实施日期：2019-03-01

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