YS/T 1600-2023 碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法

YS/T 1600-2023标准基本信息

标准名称：碳化硅单晶中痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法

标准号：YS/T 1600-2023

发布日期：2023-04-21

实施日期：2023-11-01

制修订：制定

中国标准分类号：H17

国际标准分类号：77.040.30

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：制造业

标准类别：方法标准

适用范围：本文件适用于碳化硅单晶中杂质元素含量的测定。