SJ 21169-2016标准基本信息
标准名称：MEMS 惯性器件干法刻蚀工艺技术要求
标准号：SJ 21169-2016
英文名称：Technical requirements for MEMS inertial device dry etching process
发布部门：科技工业局
发布日期：2016-12-14
实施日期：2017-03-01
SJ 21169-2016 MEMS 惯性器件干法刻蚀工艺技术要求
下载格式：pdf标准分类：行业标准
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