标准名称:硅多晶生产用石墨制品表面杂质含量的测定 电感耦合等离子体光谱法
标准号:YS/T 1768-2025
发布日期:2025-04-10
实施日期:2025-11-01
制修订:制定
中国标准分类号:H17
国际标准分类号:77.04
批准发布部门:工业和信息化部
行业分类:制造业
标准类别:方法标准
适用范围:本文件描述了硅多晶生产用石墨制品表面中钠、镁、铝、钾、钙、铬、铁、镍、铜、锌、砷、铅、锰、硼、磷等元素含量的电感耦合等离子体光谱测定方法。本文件适用于硅多晶生产用石墨制品中表面杂质元素含量的测定。
