YS/T 1727-2025 高纯钛溅射环

标准名称：高纯钛溅射环

标准号：YS/T 1727-2025

发布日期：2025-04-10

实施日期：2025-11-01

制修订：制定

中国标准分类号：H64

国际标准分类号：77.150.50

批准发布部门：工业和信息化部

行业分类：制造业

标准类别：产品标准

适用范围：适用于电子薄膜制造用的高纯钛溅射环。