JJF 1932-2021 椭偏仪校准规范

JJF 1932-2021标准基本信息

标准名称：椭偏仪校准规范

标准号：JJF 1932-2021

英文名称：Calibration Specification for Ellipsometers

发布部门：国家市场监督管理总局

发布日期：2021-12-08

实施日期：2022-06-08

标准状态：现行/即将实施

文件格式：PDF

起草单位：中国计量科学研究院、中国兵器工业第二〇五研究所

起草人员：刘文德、陈赤、王雷

本规范适用于波长范围在250 nm～2 000 nm内的椭偏仪的校准。