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JJF 1917-2021 显微标尺校准规范

JJF 1917-2021标准基本信息

标准名称:显微标尺校准规范

标准号:JJF 1917-2021

英文名称:Calibration Specification for Micropattern Standards

发布部门:国家市场监督管理总局

发布日期:2021-07-28

实施日期:2022-01-28

标准状态:现行/即将实施

文件格式:PDF

起草单位:山西省计量科学研究院、江苏省计量科学研究院、中国计量科学研究院

起草人员:晏浩、王晓飞、孙双花、薛梓、杨伟敏

本规范适用于刻线宽度为0.3 μm及以上一维或二维显微标尺的校准。

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