IEC 62047-1:2016 半导体器件 - 微电子机械器件 - 第1部分：术语和定义

标准号：IEC 62047-1:2016

发布日期：2016-01-06

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1: Terms and definitions

半导体器件 - 微电子机械器件 - 第1部分：术语和定义

IEC62047-1:2016的适用范围为：该标准规定了半导体器件的微机电系统（MEMS）技术术语和定义，适用于MEMS设计、制造、测试和应用领域。