硅基晶圆制造单位产品能源消耗限额

本文件规定了硅基晶圆制造单位产品能源消耗限额的能源限额等级、技术要求、统计范围和方法、计算方法。本文件适用于硅基晶圆制造单位产品能耗的计算、考核，以及对新（改、扩）建项目的能耗控制。本文件不适用于太阳能硅基晶圆制造，也不适用于直径12 吋以上、工艺制程28nm 以下的硅基晶圆制造。

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