本文围绕直拉硅单晶生长工艺参数的优化问题，结合计算流体动力学（CFD）与智能优化方法，系统研究了关键工艺参数对晶体质量的影响。通过建立三维CFD模型，模拟热场、流场及掺杂分布，揭示了热对流与熔体流动对晶体缺陷形成的作用机制。在此基础上，引入智能优化算法，对加热功率、提拉速度、坩埚旋转速率等参数进行多目标优化，显著提升了晶体生长过程的稳定性和成品率。研究结果表明，CFD与智能优化的结合能够有效预测工艺窗口，为直拉硅单晶的工业化生产提供了理论与方法支持。
基于CFD与智能优化的直拉硅单晶生长工艺参数研究（29页）下载大小：3.12MB
基于CFD与智能优化的直拉硅单晶生长工艺参数研究