本文针对双面PERC（PassivatedEmitterandRearCell）单晶硅太阳电池的制造工艺，系统研究了各关键工艺环节的匹配性问题。双面PERC电池通过在传统PERC结构基础上引入背面钝化与局部接触技术，实现双面光电转换功能，显著提升发电效率。文中分析了扩散、刻蚀、钝化膜沉积、金属化等工艺参数对电池性能的影响，探讨了工艺之间的协同优化策略。通过实验设计与表征，揭示了工艺匹配对开路电压、短路电流、填充因子及双面率等关键指标的作用机制，为高效双面PERC电池的产业化制备提供理论依据与技术参考。
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双面PERC单晶硅太阳电池工艺匹配研究