本文旨在研究大尺寸直拉单晶硅生长过程中熔体流动的不稳定特性及其对结晶界面形状的影响。随着硅片尺寸增大，熔体内部热对流与强迫对流相互作用加剧，导致流动模式出现非稳态变化。这种不稳定的熔体流动会直接影响固液界面的形状与平整度，进而影响晶体质量。研究通过数值模拟与实验观察相结合的方法，揭示了不同工艺参数下熔体流动失稳的演化规律，并分析了其对界面形态的调控机制。结果对于优化大尺寸单晶硅生长工艺、提高晶体均匀性与缺陷控制具有重要意义。
大尺寸直拉单晶硅生长过程中熔体流动不稳定特性及其对结晶界面形状的影响-刘立军（22页）下载大小：2.42MB
大尺寸直拉单晶硅生长过程中熔体流动不稳定特性及其对结晶界面形状的影响-刘立军