本文围绕N型晶体硅太阳电池生产中传统扩散工艺引入氧杂质导致效率损失的问题，研究无氧扩散技术。通过改进扩散工艺与设备，避免氧源与高温环境中氧的介入，实现低氧或非氧掺杂。重点探索了氮化硅或磷化气体替代氧气作为扩散载体的可行性，评估了无氧扩散对硅片表面钝化、少子寿命及电池转换效率的影响。结果表明，无氧扩散能有效抑制氧相关缺陷和界面复合，改善硅片质量，提升N型电池光电转换效率，同时增强工艺稳定性和电池长期可靠性。该技术为N型晶体硅太阳电池高性能化及工业化降本提供了一条有效路径。
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N型晶体硅太阳电池用无氧扩散技术研究