本项目旨在系统研究臭氧在光伏电池制造湿法设备及膜生产设备中的应用。研究重点包括臭氧在硅片清洗、表面氧化及有机膜处理等关键工艺中的作用机制，评估其对设备能效、材料性能及工艺稳定性的影响。通过实验对比与理论分析，本工作探讨了臭氧替代传统化学试剂的可行性，并提出了优化臭氧浓度、反应时间及温度参数的方案，以提升设备运行经济性与环保性。研究成果可为光伏与膜工业的绿色制造技术改进提供科学依据。
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臭氧在光伏电池制造湿法设备和膜生产设备的应用研究