这是一份关于“激光掺杂及相关损伤研究-杨宁”的简介:该研究聚焦于激光掺杂技术在半导体材料改性中的应用,系统分析了激光诱导掺杂过程中材料微观结构演变与电学性能之间的关系。研究通过调控激光参数(如能量密度、脉冲宽度及扫描速度),实现了对掺杂元素(如硼、磷等)在硅基材料中均匀分布的有效控制。同时,重点探讨了激光与材料相互作用过程中产生的热效应与冲击波对晶体结构造成的损伤机制,包括位错增殖、非晶化及微裂纹形成等现象。结合实验表征与理论模拟,研究揭示了激光掺杂参数与损伤程度之间的关联规律,为优化激光工艺参数、降低掺杂损伤提供了理论依据,并验证了该技术在高效太阳电池及微电子器件制备中的可行性。
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激光掺杂及相关损伤研究-杨宁
