N型铸造多晶硅磷的挥发及分布研究-李鹏廷

本文基于李鹏廷的研究，探讨了N型铸造多晶硅中磷的挥发行为及其在硅锭中的分布规律。研究通过实验分析了不同工艺条件下磷的挥发机制，揭示了温度、气氛及杂质对磷挥发的影响，并描述了磷在凝固过程中的偏析特征。该工作为优化N型多晶硅的制备工艺、降低磷含量及提高材料纯度提供了理论依据。

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