T/SZMES 3-2021标准基本信息
标准名称：薄膜应力测定 基片弯曲法
标准编号：T/SZMES 3—2021
英文标题：Determination of the film stress—Substrate curvature method
国际标准分类号：25.220.01表面处理和镀涂综合
中国标准分类号：CCS A29
国民经济分类：C336 金属表面处理及热处理加工
发布日期：2021年05月28日
实施日期：2021年06月01日
起草人：赵升升、廖强华、王红英、王铁钢、刘艳梅、张小波、杜建铭、章卫红、蔡恒志、梁舒洁、顾维鑫、汤悦荣。
起草单位：深圳职业技术学院、天津职业技术师范大学、深圳市速普仪器有限公司、深圳大学、深圳市机械工程学会、深圳领威科技有限公司、广东省标准化研究院。
范围：本文件规定了基于基片弯曲法的薄膜应力测定的术语和定义、测量原理、测量仪器、试样要求、测量条件、参数的确定、测量、薄膜应力计算及试验报告。本文件适用于基于基片弯曲法的薄膜应力测定。
