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T/CSTM 00313-2021 基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法

下载格式:pdf标准分类:团体标准

T/CSTM 00313-2021标准基本信息

标准名称:基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法

标准状态:现行

标准编号:T/CSTM 00313—2021

中文标题:基于光谱反演的光学薄膜常数测试方法

英文标题:Testing method of optical constants for0ptical thin films based on spectro-photo-metric method

国际标准分类号:17.180.01光学和光学测量综合

中国标准分类号:N 35

国民经济分类:C305 玻璃制品制造

发布日期:2021年10月18日

实施日期:2022年01月18日

起草人:马孜、姚德武、封巍、罗舒、郑环其、李斌成、易葵、张伟丽、赵元安

起草单位:西南技术物理研究所,中国科学院上海光学精密机械研究所。

范围:本文件规定了采用光谱法测定单层光学薄膜的光谱特性,并以此反演出膜层光学常数的测试方法。本文件适用于50nm~5000nm的介质光学薄膜和基片,薄膜为氧化物、氟化物、硫化物等化合物,基片为各种可见光透明光学玻璃、可见光透明各向同性晶体。

是否包含专利信息:否

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