T/NXCL 004-2021标准基本信息
标准名称：旋转硅靶材
标准状态：现行
标准编号：T/NXCL 004—2021
中文标题：旋转硅靶材
国际标准分类号：29.045
国民经济分类：C398 电子元件及电子专用材料制造
发布日期：2021年11月11日
实施日期：2021年11月11日
起草人：盛之林、杨少林、罗学涛、盛旺、范占军、安百俊、黄柳青、卢辉、吴建栋、陆有军、郭生伟、高忙忙、顾燕滨、姜永庆、王黎光、芮阳、姜大川、郭校亮
起草单位：北方民族大学、厦门大学、宁夏高创特能源科技有限公司、宁夏大学、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、大工（青岛）新能源材料技木研究院有限公司
是否包含专利信息：否