T/NXCL 003-2021标准基本信息
标准名称：平面硅锗靶材
标准编号：T/NXCL 003—2021
国际标准分类号：29.045
国民经济分类：C398 电子元件及电子专用材料制造
发布日期：2021年11月11日
实施日期：2021年11月11日
起草人：安百俊、罗学涛、盛旺、黄柳青、杨少林、吴建栋、卢辉、侯春平、马金福、杜江华、高忙忙、盛之林、顾燕滨、姜永庆、王黎光、芮阳、姜大川、郭校亮
起草单位：宁夏高创特能源科技有限公司、厦门大学、北方民族大学、宁夏大学、宁夏盾源聚芯半导体科技股份有限公司、宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司、大工（青岛）新能源材料技木研究院有限公司
