T/CPIA 0065-2024标准基本信息
标准名称：异质结电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备
标准状态：现行
标准编号：T/CPIA 0065—2024
中文标题：异质结电池用等离子体增强化学气相淀积（PECVD）设备
国际标准分类号：27.160
国民经济分类：C382 输配电及控制设备制造
发布日期：2024年03月10日
实施日期：2024年03月15日
起草人：王赶强、王慧慧、庄天奇、马哲国、卢俊雄、吴易龙、江伟、朱海剑、张洪旺、周光大、朱晨、刘松民、周春华、谈剑豪
起草单位：中国电子技术标准化研究院、理想万里晖半导体设备（上海）股份有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、湖南红太阳光电科技有限公司、北京北方华创微电子装备有限公司、常州捷佳创精密机械有限公司、无锡帝科电子材料股份有限公司、杭州福斯特应用材料股份有限公司、江苏乾景睿科新能源有限公司、浙江润海新能源有限公司、江苏爱康能源研究院有限公司
是否包含专利信息：否