标准名称：半导体设备用碳化硅陶瓷零部件
标准编号：T/CI 961—2025
英文标题：Silicon carbide ceramic components for semiconductor equipment
国际标准分类号：81.060.30高级陶瓷
国民经济分类：C356 电子和电工机械专用设备制造
发布日期：2025年04月15日
实施日期：2025年04月15日
起草人：徐斌、徐勤龙、李季、陈诚、宋宝山、沈赟、马坤、罗统斌、薛振坤、袁洪峰。
起草单位：宁波伏尔肯科技股份有限公司、山田新材料集团有限公司、绍兴晶彩科技有限公司、广西三元华鑫特种陶瓷有限公司、江苏晶孚新材料科技有限公司。
范围：本文件规定了半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的术语和定义、产品结构和分类、生产工艺、技术要求、试验方法、检验规则和应用。本文件适用于半导体设备用碳化硅陶瓷零部件的生产制造和应用。
