T/ZOIA 3013-2025 晶圆测试用探针卡技术规范

标准名称：晶圆测试用探针卡技术规范

标准编号：T/ZOIA 3013—2025

国际标准分类号：31电子学 31.200集成电路、微电子学

国民经济分类：C 制造业 C39 计算机、通信和其他电子设备制造业 C398 电子元件及电子专用材料制造 C3989 其他电子元件制造

发布日期：2025-06-16

实施日期：2025-06-16

术语和定义通过对国内外文献调研、与领域专家研讨，确定了本标准的探针卡、探针间距、针位、平坦度、接触电阻、漏电流、针压、过驱动、针径参数等专业词语的定义。