SJ/T 11503-2015标准基本信息
标准名称：碳化硅单晶抛光片表面粗糙度的测试方法
标准号：SJ/T 11503-2015
发布日期：2015-04-30
实施日期：2015-10-01
制修订：制定
中国标准分类：H83
国际标准分类：29.045
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：无
标准类别：方法标准
起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所、北京天科合达蓝光半导体有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院
起草人：丁丽、何友琴、郑红军 等
