SJ 21536-2018标准基本信息
标准名称：微波功率器件及集成电路用砷化镓外延片规范
标准号：SJ 21536-2018
英文名称：Specification of gallium arsenide epitaxial wafer for microwave power devices and monolithic microwave integrated circuits
发布部门：科技工业局
发布日期：2018-12-29
实施日期：2019-03-01
SJ 21536-2018 微波功率器件及集成电路用砷化镓外延片规范