SJ 21553-2020 三维异构集成细间距微凸点制作工艺技术要求

SJ 21553-2020标准基本信息

标准名称：三维异构集成细间距微凸点制作工艺技术要求

标准号：SJ 21553-2020

英文名称：Three-dimensional heterogeneous integration--Technical requirements for micro-bump with fine-pitch process

发布部门：科技工业局

发布日期：2020-06-03

实施日期：2020-08-01