标准名称：电子级三氯氢硅的化学气相沉积评价方法
标准号：YS/T 1740-2025
发布日期：2025-04-10
实施日期：2025-11-01
制修订：制定
中国标准分类号：H17
国际标准分类号：77.04
批准发布部门：工业和信息化部
行业分类：制造业
标准类别：方法标准
适用范围：本文件规定了用化学气相沉积法制备电子级三氯氢硅的评价样棒，并通过检测评价样棒的导电类型、电阻率、碳、施主和受主杂质含量来表征电子级三氯氢硅质量的规程。本文件适用于硅多晶生产和硅外延用电子级三氯氢硅的质量评价。
