IEC 62047-28:2017

标准号：IEC 62047-28:2017

发布日期：2017-01-20

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 28: Performance testing method of vibration-driven MEMS electret energy harvesting devices

半导体器件 - 微机电装置 - 第28部分：振动驱动MEMS驻极体能量收集装置性能测试方法

IEC62047-28:2017标准的适用范围主要涉及半导体器件中的微机电系统（MEMS）技术。该标准具体规定了MEMS器件的测试方法和性能评估要求，适用于微机电系统在半导体领域的应用，包括传感器、执行器等微型设备的性能测试和可靠性评估。标准旨在为MEMS器件的设计、制造和测试提供统一的技术规范，确保其性能和质量符合行业要求。