标准号：IEC 62047-41:2021
发布日期：2021-06-15
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 41: RF MEMS circulators and isolators
半导体器件 - 微机电器件 - 第41部分：射频MEMS环行器和隔离器
IEC62047-41:2021的适用范围主要涉及半导体器件中的微型机电系统（MEMS）技术。该标准具体规定了MEMS器件的测试方法和性能评估要求，适用于MEMS相关的设计、制造和测试过程。标准旨在确保MEMS器件的可靠性和性能一致性，适用于工业、医疗、通信等领域的MEMS应用。
IEC 62047-41:2021