标准号：IEC 62047-3:2006
发布日期：2006-08-15
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 3: Thin film standard test piece for tensile testing
半导体器件 - 微机电装置 - 第3部分：拉伸试验用薄膜标准试件
IEC62047-3:2006的适用范围主要涉及半导体器件中的微机电系统（MEMS）技术。该标准具体规定了MEMS器件的测试方法和性能评估要求，适用于微机电系统在半导体领域的开发和应用。标准内容涵盖MEMS器件的机械特性、电气特性以及环境适应性等方面的测试规范，旨在确保MEMS器件的可靠性和性能一致性。
IEC 62047-3:2006