标准号：IEC 62047-42:2022
发布日期：2022-09-16
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 42: Measurement methods of electro-mechanical conversion characteristics of piezoelectric MEMS cantilever
半导体器件 - 微机电装置 - 第42部分：压电MEMS悬臂梁机电转换特性的测量方法
IEC62047-42:2022的适用范围主要涉及微机电系统（MEMS）技术领域。该标准具体规定了MEMS器件中使用的薄膜材料的机械性能测试方法，特别是针对微米和纳米尺度的薄膜材料。它适用于评估这些薄膜材料在MEMS应用中的关键机械特性，如弹性模量、残余应力和应变等参数。该标准为MEMS设计和制造过程中薄膜材料的选择和性能评估提供了统一的测试方法和指导。
IEC 62047-42:2022