标准号：IEC 62047-48:2024
发布日期：2024-06-07
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 48: Test method for determining solution concentration by optical absorption using MEMS fluidic device
半导体器件 - 微机电器件 - 第48部分：使用MEMS流体器件通过光吸收测定溶液浓度的试验方法
IEC62047-48:2024的适用范围主要涉及微机电系统（MEMS）技术领域。该标准具体规定了MEMS器件的测试方法和性能评估要求，适用于微电子机械系统相关的设计、制造和测试过程。它旨在为MEMS器件的可靠性和性能提供统一的测试标准，确保器件在不同应用中的兼容性和稳定性。该标准适用于工业、医疗、通信等多个领域的MEMS器件开发和评估。
IEC 62047-48:2024