标准号：IEC 62047-38:2021
发布日期：2021-06-23
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 38: Test method for adhesion strength of metal powder paste in MEMS interconnection
半导体器件 - 微机电系统器件 - 第38部分：MEMS互连中金属粉末浆料粘附强度的测试方法
IEC62047-38:2021的适用范围主要涉及半导体器件的微机电系统（MEMS）技术。该标准规定了MEMS器件的测试方法和性能评估要求，适用于设计和制造过程中对MEMS器件的可靠性、功能性和环境适应性进行测试与验证。具体包括MEMS传感器、执行器及相关微纳器件的性能参数测试和评估方法。
IEC 62047-38:2021