IEC 62047-6:2009 半导体器件 - 微电子机械器件 - 第6部分：薄膜材料轴向疲劳测试方法

标准号：IEC 62047-6:2009

发布日期：2009-04-07

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials

半导体器件 - 微电子机械器件 - 第6部分：薄膜材料轴向疲劳测试方法

IEC62047-6:2009的适用范围是：该标准规定了用于微机电系统（MEMS）的薄膜材料拉伸性能的测试方法，主要适用于通过微制造技术制备的、特征尺寸在微米范围内的薄膜材料。