IEC 63068-2:2019 半导体器件 - 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷无损识别准则 - 第2部分：光学检测缺陷试验方法

标准号：IEC 63068-2:2019

发布日期：2019-01-30

Semiconductor devices – Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices - Part 2: Test method for defects using optical inspection

半导体器件 - 功率器件用碳化硅同质外延片缺陷无损识别准则 - 第2部分：光学检测缺陷试验方法

IEC63068-2:2019的适用范围为：本标准规定了半导体器件在电离辐射（如伽马射线、X射线等）环境下的测试方法，主要用于评估其抗辐射性能，适用于航天、核能及其他高辐射环境应用的电子元器件可靠性评价。