IEC 62047-5:2011 半导体器件 - 微机电装置 - 第5部分：射频MEMS开关

标准号：IEC 62047-5:2011

发布日期：2011-07-13

Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 5: RF MEMS switches

半导体器件 - 微机电装置 - 第5部分：射频MEMS开关

IEC62047-5:2011的适用范围主要涉及微机电系统（MEMS）技术领域，具体针对基于MEMS的射频（RF）元件和子系统。该标准规定了这些元件的性能测试和评估方法，包括滤波器、谐振器、开关等射频MEMS器件，旨在确保其在通信、传感等应用中的可靠性和一致性。