本文研究了在Cat-doping（催化掺杂）后处理过程中，热丝温度对硅异质结（SHJ）太阳电池钝化性能的影响。Cat-doping是一种通过热丝化学气相沉积（HWCVD）方法对非晶硅薄膜进行原位掺杂的技术，其中热丝温度是调控掺杂效果和薄膜质量的关键参数。通过改变热丝温度，分析了其对非晶硅薄膜的结构特性、氢含量及界面钝化效果的影响。结果显示，适当的热丝温度能够优化掺杂浓度和薄膜密度，减少界面缺陷态密度，从而显著提升SHJ太阳电池的钝化性能。该研究为提升SHJ电池效率提供了一种有效的后处理工艺优化策略。
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热丝温度对Cat-doping后处理的SHJ太阳电池钝化性能的影响