标准名称：半导体制造用等离子体工艺射频电源动态阻抗测试方法
标准编号：T/CPSS 1018—2025
英文标题：Test methods for dynamic impedance of RF generator applied in semiconductor manufacturing plasma process
国际标准分类号：19.080
中国标准分类号：K 80
国民经济分类：C389 其他电气机械及器材制造
发布日期：2025年08月22日
实施日期：2025年08月23日
起草人：乐卫平、林伟群、黄永镇、张桂东、高飞、张赛谦、郭东、王佳航、汪昌州、朱建明、朱刚毅、孙桂红、梁红、陈立、潘振强、李志荣、梁洁、冼健威、李国强、汪洪亮
起草单位：深圳市恒运昌真空技术有限公司、广东工业大学、大连理工大学、拓荆创益（沈阳）半导体设备有限公司、上海陛通半导体能源科技股份有限公司、肇庆市科润真空设备有限公司、广东腾胜科技创新有限公司、湘潭宏大真空技术股份有限公司、广东振华科技股份有限公司、广东汇成真空科技股份有限公司、上海邦芯半导体科技有限公司、东莞市晟鼎精密仪器有限公司、湖南玉丰真空科学技术有限公司、湖南大学
