T/SZZXH 5-2025 半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物阀门技术规范

标准名称：半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物阀门技术规范

标准编号：T/SZZXH 5-2025

英文名称：Technical specification for perfluoroalkoxy valves for semiconductor manufacturing

发布部门：深圳市战略性新兴产业发展促进会

发布日期：2025-05-30

实施日期：2025-06-01

标准页数：12页

内容简介：本文件规定了半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物阀门的制造要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于PFA阀门的制造与检验。

T/SZZXH 5-2025 半导体制造用全氟烷氧基乙烯基醚共聚物阀门技术规范