YS/T1167-2016《硅单晶腐蚀片》是由中国有色金属工业协会提出并归口的行业标准，主要规定了硅单晶腐蚀片的术语和定义、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存等内容。该标准适用于半导体行业用硅单晶腐蚀片的生产和检验，旨在规范产品质量，确保其在集成电路、太阳能电池等领域的应用性能。标准详细规定了硅单晶腐蚀片的尺寸、外观、电阻率、氧碳含量等关键指标，为行业提供了统一的技术依据。
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YS/T 1167-2016 硅单晶腐蚀片
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