标准号：IEC 62047-2:2006
发布日期：2006-08-15
Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 2: Tensile testing method of thin film materials
半导体器件 微电子机械器件 第2部分：薄膜材料拉伸试验方法
IEC62047-2:2006的适用范围主要涉及半导体器件中的微型机电系统（MEMS）技术。该标准具体规定了MEMS相关的术语、定义和基本概念，适用于MEMS器件的设计、制造和测试过程。它为MEMS技术的标准化提供了基础框架，确保相关器件在微米和纳米尺度下的性能和可靠性。
IEC 62047-2:2006