标准号：IEC 63068-4:2022
发布日期：2022-07-27
Semiconductor devices - Non-destructive recognition criteria of defects in silicon carbide homoepitaxial wafer for power devices - Part 4: Procedure for identifying and evaluating defects using a combined method of optical inspection and photoluminescence
半导体器件 - 功率器件用碳化硅同质外延片中缺陷的无损识别标准 - 第4部分：采用光学检测与光致发光相结合方法进行缺陷识别与评估的程序
IEC63068-4:2022的适用范围主要涉及半导体器件在电离辐射环境下的测试方法。该标准规定了半导体器件在受到电离辐射影响时的电学性能测试程序和要求，适用于评估这些器件在辐射环境中的可靠性和性能变化。该标准通常用于航天、核能及其他高辐射环境应用的半导体器件的测试和评估。
