T/CSCP 0059.5-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第5部分：电路设计及测试

标准名称：微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第5部分：电路设计及测试

标准编号：T/CSCP 0059.5-2025

发布部门：中国腐蚀与防护学会

发布日期：2025-09-01

实施日期：2025-10-01

标准页数：12页

内容简介：本文件规定了微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System,以下简称MEMS)材料腐蚀芯片及传感器电路设计要求、性能要求及测试方法。本文件适用于各类MEMS 材料腐蚀芯片及传感器的电路设计、验证测试及质量评价。

T/CSCP 0059.5-2025 微机电系统（MEMS）材料腐蚀芯片及传感器 第5部分：电路设计及测试